Наши технологии
- Главная →
- Наши технологии
-
MEMS-Микроэлектромеханические системы
За последние несколько лет широкое распространение по всему миру получили датчики, основанные на микроэлектромеханических системах, так называемых МЭМС.
МЭМС — это интегрированные микроустройства или системы, комбинирующие электронные и механические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технологией интегральных схем, и имеющие размеры от микрометров до миллиметров. Соединение в таких системах компьютерной обработки с чувствительными и актюаторными компонентами позволяет нам ощущать и контролировать окружающий мир.
Популярность данных устройств обусловлена рядом причин: их отличают простота использования, относительно низкая цена и малые габариты. МЭМС, в частности микромеханические гироскопы (ММГ), в настоящее время широко применяются в гражданских и военных отраслях промышленности. Гироскоп способен реагировать на изменение углов ориентации связанного с ним тела относительно инерциальной системы координат, как правило, основанное на законе сохранения момента импульса. Он обладает рядом интересных свойств, наблюдаемых у вращающихся небесных тел, у артиллерийских снарядов, у детского волчка, у роторов турбин, установленных на судах, и др.
Микромеханические гироскопы (ММГ) начинают применяться в интегрированных системах ориентации и навигации объектов различного назначения, инклинометрических системах для наклонно-направленных и горизонтальных скважин, миниатюрных системах ориентации и управления беспилотными летательными аппаратами, креслах и скафандрах космонавтов, антеннах, видеокамерах, а также в другом оптическом, испытательном и диагностическом оборудовании.
В общем случае МЭМС состоит из чувствительного элемента (ЧЭ), реагирующего на внешние возмущения, и электроники для обработки поступающего сигнала. Практически все микромеханические гироскопы, выпускаемые в мире, по своему принципу действия являются вибрационными . Гироскоп чаще всего применяется как чувствительный элемент указывающих гироскопических приборов и как датчик угла поворота или угловой скорости для устройств автоматического управления. В некоторых случаях, например в гиростабилизаторах, гироскопы используются как генераторы момента силы или энергии.
-
Сложные инерциальные системы
Мы специализируемся на создании инерциальных измерительных блоков, на основе микромеханических датчиков. Наши приборы измеряют линейные ускорения и / или угловые скорости по трём осям, в диапазонах ± 2 .. 15 g и ± 75 ...5000 °/с. соответственно. Микромеханические датчики угловой скорости или гироскопы отличаются малыми габаритами, низким энергопотреблением, и достаточно высокой точностью. В общем случае диапазон измеряемых угловых скоростей составляет ± 75 ...5000 °/с однако возможно и специальное исполнение, с большими диапазонами.Чувствительность ДУС с диапазоном ± 75 °/с составляет более 0.01 °/с
Практически каждый наш блок, помимо датчиков, имеет контроллер для коррекции выходного сигнала в соответствии с актуальной математической моделью. По желанию заказчика возможна программная термокомпенсация, компенсация нелинейности и температурного ухода масштабного коэффициента и компенсация неортогональности измерительных осей. Возможна реализация не сложных алгоритмов ориентации и управления, например выдача разовых команд на приводы системы горизонтирования или приводы системы стабилизации.