Skip links

МЭМС в России

Технология МЭМС

Технология МЭМС совмещает микромеханику и микроэлектронику.

Миниатюрная МЭМС-структура создается методом физической модификации кремния (или другого материала подложки). Следующим шагом является объединение с микросхемой и  корпусирование. МЭМС-устройства могут состоять из микромашинных структур, микродатчиков, микроэлектронных схем и микроактуаторов. Всё это интегрировано на одном кристалле.

Датчики позволят устройствам определить термические, механические, магнитные, электромагнитные или химические изменения, которые могут быть преобразованы электрической схемой в определенный сигнал, а актуаторы обеспечивают физические изменения, а не просто измеряют их.

МЭМС-гироскоп
МЭМС-акселерометр
МЭМС акселерометр
МЭМС-гироскоп

Применения МЭМС

В последнее время стремительно развивается и масштабируется производство лидаров, их применяют в разработке беспилотного транспорта. Один из важнейших компонентов многих лидаров — это микромеханические зеркала, обеспечивающие динамичное отражение лазеров.

МЭМС-гироскопы и акселерометры лежат в основе инерциальных навигационных систем, которые, во-первых, значительно дешевле аналогов, а, во-вторых, имеют большое разнообразие исполнений, начиная с самых дешевых и заканчивая самыми дорогими и высокоточными системами, которые на сегодняшний день готовы конкурировать с «эталонно-точными» волоконно-оптическими гироскопическими модулями.

МЭМС-датчики удара могут быть применимы в устройствах фиксации воздействий и ускорений, существуют даже МЭМС-микрофоны.

При относительно молодом возрасте технология МЭМС уже широко востребована, активно поддерживается и развивается на иностранных рынках. Причина успеха заключается в доступности цены, малых габаритах и весе.

Ещё про МЭМС вы можете прочитать здесь.

Авиация

Судостроение

Ракетостроение

Автомобили

ЖД-транспорт

Акустические системы

Мобильные устройства

Системы охраны

ПРИМЕНЕНИЕ

Команда ученых, развивающих МЭМС в России

Тематическое направление 12 (ТН-12) ООО «ЛМП» занимается изготовлением МЭМС-датчиков: акселерометров, датчиков угловых скоростей (ДУС), датчиков удара и др.). При изготовлении МЭМС-датчиков специалисты применяют различные технологические операции по обработке кремниевых пластин:

  • фотолитография по слоям металлов, диэлектриков, кремнию и др. материалов;
  • процессы осаждения различных металлов и диэлектриков на поверхности подложки из кремния или структур кремний на изоляторе (КНИ);
  • жидкостные и плазмохимические процессы травления кремния, диэлектриков и металлов на заданную глубину с заданными параметрами;
  • сращивание разнородных или однородных пластин или чипов; проводят балансировку, вакуумирование, герметизацию или капсулирование с защитной средой;
  • проводят калибровку и исследования готовых МЭМС-датчиков.
МЭМС

Виноградов Анатолий Иванович

Технолог

Научный сотрудник

Компетенции

Задачи:

  • Разработка шаблонов для изготовления ЧЭ
  • Основные процессы изготовления (плазмохимическое травление кремния и диэлектриков, сращивание структур, травление металлов)

Научная деятельность:

Ответственный исполнитель ряда НИОКР, выполняемых в лаборатории.

Публикации:

Опубликовано более 10 работ, соавтор 2 патентов.

МЭМС

Кочурина Елена Сергеевна

Руководитель отдела ТН-12

Кандидат технических наук

Компетенции

Задачи:

  • Руководитель НИОКР
  • Организация рабочих процессов
  • Проведение испытаний и исследований МЭМС-датчиков, анализ полученных результатов

Научная деятельность:

Специализируется в области проектирования, проведения испытаний и исследований микромеханических датчиков.

Публикации:

Автор и соавтор более 30 публикаций.

МЭМС

Зарянкин Николай Михайлович

Ведущий технолог

Кандидат технических наук

Компетенции

Задачи:

  • Разработка технологических процессов изготовления ЧЭ и их корректировка, при необходимости
  • Проработка конструкции ЧЭ

Научная деятельность:

Кандидат технических наук. Имеет 6 авторских свидетельств , 3 патента.

Публикации:

Автор 11-ти статей по тематике микроэлектромеханики, 15-ть докладов на научных конференциях.

МЭМС

Мусаткин Александр Сергеевич

Инженер

Компетенции

Задачи:

  • Настройка и проведение испытаний собранных МЭМС-акселерометров и МЭМС-ДУС

Научная деятельность:

Защитил диплом аспиранта, присвоена квалификация «Исследователь. Преподаватель-Исследователь». Тема работы: «Технологические аспекты формирования высокочастотных трактов на гибких основаниях»

Публикации:

14 публикаций, из них 4 Scopus. Соавтор одного патента на полезную модель.

МЭМС

Дернов Илья Сергеевич

Инженер

Компетенции

Задачи:

  • Сборка ЧЭ МЭМС-акселерометров и ЧЭ МЭМС-ДУС
  • Корпусирование, вакуумирование и балансировка ЧЭ МЭМС-ДУС

Область научных интересов — микроэлектромеханика. Имеет один патент.

МЭМС

Боев Леонид Сергеевич

Инженер

Компетенции

Задачи:

  • разработка конструкторской документации
  • разработка оснастки для проведения испытаний

Научная деятельность:

Защитил диплом магистра по теме «Исследование технологии герметизации чувствительных элементов микромеханических сенсоров с применением газопоглотителей»

 

Публикации:

4 научных публикаций по тематике МЭМС.

Наши МЭМС-гироскопы и МЭМС-акселерометры

Датчик ТГ-100

ДУС ТГ-100

Отечественные ДУС ТГ-100

МА-10

Акселерометр МА-10

Российские акселерометры.

МА-20

МА-20

Российский акселерометр МА-20.