Skip links

Библиотека

Проектирование и изготовление чувствительного элемента МЭМС-акселерометра

Читать подробнее

PDF, 494 KB

Development of MEMS-Accelerometer Capacitive
Sensitive Element
Читать подробнее

PDF, 343 KB

Библиотека Лаборатория Микроприборов
Technological Design of the MEMS-Accelerometer
Читать подробнее

PDF, 687 KB

Сборник тезисов Лаборатория Микроприборов
Сборник тезисов, Международный форум «Микроэлектроника-2019»
Читать подробнее

PDF, 956 KB

Разработка цифровой электронной подсистемы
Разработка цифровой электронной подсистемы микромеханического гироскопа с кольцевым резонатором
Читать подробнее

PDF, 5 MB

Разработка ДУС
Разработка микромеханического ДУС тактического класса точности
Читать подробнее

PDF, 117 KB

Разработка и исследование микромеханического акселерометра
Разработка и исследование микромеханического акселерометра
Читать подробнее

PDF, 434 KB