Библиотека Лаборатории Микроприборов включает в себя статьи о чувствительных элементах, МЭМС-акселерометрах, микромеханических датчиках угловых скоростей, МЭМС-гироскопах, технических характеристиках изделий, …
Применение вариации Аллана для оценки случайных погрешностей датчиков угловой скорости
Рассматривается использование вариации Аллана для оценки случайных погрешностей датчиков угловой скорости. Приведены результаты исследований изделий: построены диаграммы и рассчитаны численные значения погрешностей …
PDF, 343 KB
Проектирование и изготовление чувствительного элемента МЭМС-акселерометра
Приведено краткое описание МЭМС-акселерометра. Проведены расчеты, подтверждающие работоспособность конструкции и расчеты номинальных значений емкостей чувствительного элемента. Дано описание технологии изготовления МЭМС-акселерометра и определены оптимальные режимы плазмохимического травления …
Читать подробнее
PDF, 494 KB
Development of MEMS-Accelerometer Capacitive
Sensitive Element
One of the problems of MEMS-accelerometers is a small nomenclature of ranges for very large accelerations (about 20000g and more). This is explained by the fact that the development and manufacturing of sensors for such ranges is very difficult task. Construction of the sensitive element have to be soft, …
PDF, 343 KB
Technological Design of the MEMS-Accelerometer
The development of new MEMS design technologies makes it possible to develop special accelerometer sensors. It allows to expand the range and methods of MEMS application or apply where it was previously impossible. Special manufacturing technology and breakthrough design of the sensor element allow measure accelerations up to 20000 g.
Читать подробнее
PDF, 687 KB
Разработка и исследование микромеханического акселерометра
Задачи, связанные с измерением кажущегося ускорения, а также вычисление скорости и определение положения в пространстве являются актуальными в современном мире. Во многих отраслях — от потребительской электроники до авиации и военного дела — необходим контроль этих характеристик. Для решения данных задач используются микромеханические акселерометры …
Читать подробнее
PDF, 956 KB
Разработка цифровой электронной подсистемы микромеханического гироскопа с кольцевым резонатором
Рассмотрены принципы разработки системы управления для микроэлектромеханического (МЭМ) гироскопа с кольцевым резонатором с максимально широким применением цифровых технологий. Приведено описание предложенной системы управления и результаты численного моделирования её работы. Показана возможность использования значения частоты …
Читать подробнее
PDF, 5 MB
Разработка микромеханического ДУС тактического класса точности
В статье представлены результаты разработки МЭМС ДУС тактического класса точности. Приведено описание состава, разработанного МЭМС ДУС, описаны элементы технологии производства резонатора. Изложено описание схемы обработки сигналов и основных узлов, входящих в ее состав…
Читать подробнее
PDF, 117 KB
Разработка и исследование микромеханического акселерометра
В статье приведено описание МЭМС-акселерометров серии 202МСУ1Л-1Ц и 203МСУ1Л-1Ц: особенности конструкции, математическая модель выходного сигнала, представлено описание автоматизированного стенда и разработанного ПО, даны результаты экспериментальных исследований.
Читать подробнее
PDF, 434 KB