Технологические мощности
Производство, калибровка и испытания изделий – это основные операции, которые коллектив предприятия выполняет самостоятельно.
Ключевые технологические мощности при производстве элементов МЭМС — это фрагменты кристального производства: участки фотолитографии, нанесения фоторезиста, формирования маски, участки термических операций, диффузии, термообработки, плазмохимического осаждения, химобработки, ПХ-удаления фоторезиста, магнетронного и вакуумно-термического напыления металлов, плазмохимического травления.