Новый чувствительный элемент планарного типа
В Лаборатории Микроприборов разработаны и изготовлены опытные образцы нового перспективного акселерометра с чувствительным элементом планарного типа. Чувствительный элемент акселерометра изготавливается по технологии кремний-на-изоляторе (SOI) с помощью плазмохимического травления (Bosch-процесс).
Преимуществами нового акселерометра являются:
Высокая стабильность смещения нуля в запуске — до 10-70µg (по диаграмме Аллана)
Высокая стабильность масштабного коэффициента в диапазоне рабочих температур – до 1% (без программной компенсации)
Высокая стабильность смещения нуля в диапазоне рабочих температур – до 50mg (без программной компенсации)
При этом шум выходного сигнала не превышает 2mg (при частоте выдачи информации 90Гц, без фильтрации)
Новый МЭМС-акселерометр полностью совместим (программно и аппаратно) с акселерометрами серии МА-10.
